團體標準征求意見通知
各位委員、行業專家：
根據“集成電路材料產業技術創新聯盟標準委員會”團體標準制修訂計劃，以下團體標準已完成征求意見稿編制，現公開征求意見。
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序號 |
立項編號 |
標準名稱 |
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1 |
2020-6LX-ICMTIA |
集成電路用氧化鋁陶瓷制品 |
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2 |
2022-2LX-ICMTIA |
集成電路材料供應商質量評價指標 |
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3 |
2022-5LX-ICMTIA |
半導體硅材料制程裝置用密封墊片 |
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4 |
2022-9LX-ICMTIA |
集成電路用高純鋁鈧合金靶材 |
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5 |
2022-12LX-ICMTIA |
集成電路用混合氣體20%氟/氮 |
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6 |
2022-13LX-ICMTIA |
集成電路用化學機械拋光墊 |
請各有關單位及個人于2022年10月20日前將反饋意見發送至聯盟標準委員會。不限形式，便于清晰表述意見內容即可。逾期不復函，視為無意見。
標委會聯系人：王大方
電 話：13811525241
郵 件：dafang_wang@icmtia.com