本報告以中國半導體光刻材料產業為基礎，采用2021年的數據，分別從產業規模、研發和產業發展投入、專利情況、從業人員情況、主要光刻材料的技術水平和應用現狀等方面對中國光刻材料產業進行分析和預測。報告完成于2022年6月。

目錄
1    我國半導體光刻材料總體產業規模情況    1
2    半導體光刻材料行業研發投入情況    4
3    半導體光刻材料行業產業發展投入情況    5
4    半導體光刻材料行業擁有專利情況    6
5    半導體光刻材料行業從業人員情況    7
6    半導體光刻材料的成熟度分析    9

圖表目錄
圖 1  2010-2022年半導體光刻材料行業公司銷售收入增長及預測    2
圖 2  2010-2022年用于半導體制造光刻材料產品銷售收入增長及預測    3
圖 3  2010-2022年用于半導體制造光刻材料產品在總的銷售收入中所占比例    4
圖 4  2010-2021年半導體光刻材料行業研發投入增長情況    5
圖 5  2010-2021年半導體光刻材料行業產業發展投入增長情況    6
圖 6  2010-2021年光刻材料行業專利數增長情況    7
圖 7  2021年半導體光刻材料行業人員構成（按學歷）    8
圖 8  2021年半導體光刻膠行業人員構成（按工作性質）    8
圖 9  2021年紫外寬譜光刻膠的產品成熟度    9
圖 10  2021年I線光刻膠產品成熟度    10
圖 11  2021年KrF光刻膠產品成熟度    11
圖 12  2021年光刻膠輔助材料的產品成熟度    12
圖 13  2021年光刻膠配套試劑的產品成熟度    12
表 1  2010-2022年半導體光刻材料行業公司銷售收入增長及預測    1
表 2  2010-2022年用于半導體制造光刻材料產品銷售收入增長及預測    2
表 3  2010-2022年用于半導體制造光刻材料產品在總的銷售收入中所占比例    3
表 4  2010-2021年半導體光刻材料行業研發投入發展趨勢    4
表 5  2010-2021年半導體光刻材料行業產業發展投入發展趨勢    5
表 6  2010-2021年半導體光刻材料行業專利數發展趨勢    6
表 7  2021年半導體光刻材料行業人員構成    7