各有關單位：
根據《團體標準管理規定》及《集成電路材料產業技術創新聯盟標準制定程序》要求，經聯盟標準委員會審議通過，現批準發布T/ICMTIA 3-2020《集成電路用六氯乙硅烷》團體標準。
本標準于2020年2月24日發布，并于2020年4月24日開始實施，特此公告。
集成電路材料產業技術創新聯盟
二零二零年二月二十四日
T/ICMTIA 3-2020《集成電路用六氯乙硅烷》團體標準目錄
各有關單位：
根據《團體標準管理規定》及《集成電路材料產業技術創新聯盟標準制定程序》要求，經聯盟標準委員會審議通過，現批準發布T/ICMTIA 3-2020《集成電路用六氯乙硅烷》團體標準。
本標準于2020年2月24日發布，并于2020年4月24日開始實施，特此公告。
集成電路材料產業技術創新聯盟
二零二零年二月二十四日
T/ICMTIA 3-2020《集成電路用六氯乙硅烷》團體標準目錄