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聯盟團體標準發布公告（一）

聯盟團體標準發布公告（一）

來源：

ICMtia

2019/04/22

瀏覽量

根據《團體標準管理規定》及《集成電路材料產業技術創新聯盟標準制定程序》要求，經聯盟標準委員會審議通過，現批準發布如下2項團體標準：

T/ICMTIA 1-2019《集成電路材料產業技術創新聯盟氣體基礎規范》

T/ICMTIA 2-2019《集成電路用過氧化氫》

以上標準于2019年4月17日發布，并于2019年10月10日開始實施，特此公告。

附1：《集成電路材料產業技術創新聯盟氣體基礎規范》目錄

附2：《集成電路用過氧化氫》目錄

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關于召開ICMtia—PALL聯合技術講座的通知

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